如圖所示為振動測試電路。該測試電路由加速度計TA-25、集成運算放大器741(IC1、IC3、IC5、IC7)、場效應(yīng)管輸入的低漂移運算放大器等組成。其應(yīng)用于周期性加速檢測。由加速計TA-25輸出的信號經(jīng)過集成電路IC1(741)的低通
大多數(shù)專家預(yù)測MEMS技術(shù)在今后的主要發(fā)展趨勢綜合如下:(1)研究方向多樣化:從歷次大型MEMS國際會議(Transducer和MEMSWorldshop)的論文來看,MEMS技術(shù)的研究日益多樣化。MEMS技術(shù)涉及的領(lǐng)域主要包括慣性器件如加速度
基于DSP的溫度控制系統(tǒng)以高速DSP為核心,輔以相應(yīng)的外圍電路,可以實現(xiàn)復(fù)雜的控制,目前已用于某導(dǎo)航測試系統(tǒng)中。
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美國模擬器件公司(ADI)日前發(fā)布了3軸運動檢測微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)。該3軸iMEMS(集成MEMS)Motion Signal Processing技術(shù)能將包含薄的、魯棒性運動傳感器和先進的信號調(diào)理電路的非常小的低功耗3軸(XYZ)加速度計集成在
在國家科技部“863”項目“微機電系統(tǒng)”重大專項的支持下,中國科學(xué)院微系統(tǒng)所與南京石油物探研究所緊密合作,經(jīng)過將近兩年的努力,克服重重困難,研制成功以國產(chǎn)MEMS加速度計為核心的石油勘探地震檢波器。試驗人員把