
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度計就是使用MEMS技術制造的加速度計。由于采用了微機電系統(tǒng)技術,使得其尺寸大大縮小,一個MEMS加速度計只有指甲蓋的幾分之一大小。MEMS加速度計具有體積小、重量輕、能耗低等優(yōu)點。加速度計是一種慣性傳感器,能夠測量物體的加速力。加速力就是當物體在加速過程中作用在物體上的力,就比如地球引力,也就是重力。加速力可以是個常量,比如g,也可以是變量。
MEMS的全稱是Micro- Electro Mechanical System,簡稱為微機電系統(tǒng),是在芯片上將微機械與微電路包括集微型傳感器、執(zhí)行器、機械結構、電源能源、信號處理、控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等集成一體的微米/納米級系統(tǒng)。通俗的說,MEMS工藝是通過微型傳統(tǒng)機械系統(tǒng)的部件,采用半導體加工技術把微型機械系統(tǒng)與集成電路固定在硅晶圓上,接著按照應用場景的變化采用特殊定制的封裝形式,最后經(jīng)過切割組裝形成硅基換能器。
MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。它具有體積小、質量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術附加值高,適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化等特點。MEMS傳感器技術是指用微電子微機械加工出來的、用敏感元件如電容、
加速度計是一種慣性傳感器,能夠測量物體的加速力。加速力就是當物體在加速過程中作用在物體上的力,就比如地球引力,也就是重力。加速力可以是個常量,比如g,也可以是變量。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度計就是使用MEMS技術制造的加速度計。由于采用了微機電系統(tǒng)技術,使得其尺寸大大縮小,一個MEMS加速度計只有指甲蓋的幾分之一大小。MEMS加速度計具有體積小、重量輕、能耗低等優(yōu)點。
硅微加速度傳感器是MEMS器件中的一個重要分支,具有十分廣闊的應用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優(yōu)點,而且 該種傳感器在強輻射作用下能正常工作,使其近年來發(fā)展迅速。Mems的加速度計分為六大類:電容式加速度計;壓阻式加速度計;壓電式加速度計;諧振式加速度計;隧穿式加速度計;熱對流式加速度計。
在智慧城市建設的背景下,為了更加客觀、直觀地分析評估、模擬推演和輔助決策城市建設活動,公司圍繞傳統(tǒng)的空間規(guī)劃業(yè)務推進全面數(shù)字化轉型,在地上空間聚焦城市畫像技術的應用、在地下空間聚焦數(shù)字孿生技術的拓展,探索建立地上、地下一體化的智慧數(shù)字城市平臺。
SEMI在2019年發(fā)布的報告《2018至2023MEMS及傳感器產(chǎn)能報告(MEMS & Sensors Fab Report to 2023)》中指出,受到通信、運輸、醫(yī)療、移動、工業(yè)和其他物聯(lián)網(wǎng)應用需求驅動,2018年到2023年,全球MEMS和傳感器制造產(chǎn)能預計將增長25%。報告預測到2023年,MEMS代工廠將占所有MEMS和傳感器產(chǎn)線的46%。MEMS的英文全稱是Micro-Electro-Mechanical System,即微機電系統(tǒng),它的尺寸通常在幾毫米乃至更小,它是一個獨立的智能系統(tǒng)。MEMS是目前備受關注的技術之一,它也是一種典型的多學科交叉的前沿性研究技術,涉及多種學科領域,如電子、機械、材料、制造、物理、化學、生物以及信息與自動控制等,它被認為是構建物聯(lián)網(wǎng)基礎物理感知層傳感器的最主要選擇之一。
接著前幾天所整理的《國內半導體材料產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及投資分析》,在同一天第四期品利芯視野投資分享會上,擁有15年半導體從業(yè)經(jīng)歷,目前專注于半導體及相關領域行業(yè)研究投資的唐李明先生,做了一場題為《MEMS產(chǎn)業(yè)投資分析》演講,小編整理如下。
傳感器,特別是MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器,近年來出貨量基本都保持在兩位數(shù)增長,但由于價格戰(zhàn)慘烈,并不是所有廠商都因為出貨量增長而帶來收益。智能手機市場增速已經(jīng)停滯,新型可穿戴設備、AR/VR、物聯(lián)網(wǎng)與汽車等應用仍繼續(xù)拉動傳感器出貨量增長,但平均銷售單價(ASP)持續(xù)下跌嚴重侵蝕了很多廠商的利潤,除了排名靠前的幾家廠商還能盈利,后面的廠商多數(shù)在盈虧線附近掙扎。
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無論在哪一年,全世界大約都會發(fā)生16次大地震,其中15次是7級,1次是8級或8級以上的地震[1]。因此,地震早期預警(EEW)系統(tǒng)的需求量很大。由日本氣象廳(JMA)管理的覆蓋全國的EEW系統(tǒng)[2]從2006年開始運行。地震臺網(wǎng)由1000個間隔20至25公里的地震臺組成。在2011年日本東北9.1級地震之后,日本氣象廳收集了關于EEW系統(tǒng)的反饋:人們對地震預警系統(tǒng)表示熟悉,并發(fā)現(xiàn)它們很有用;參與者對JMA EEW系統(tǒng)的功效普遍給予了正面反饋,即使有假警報,大家的反饋也令人驚訝地積極。調查對象們都很熟悉早期預警系統(tǒng)的技術局限性,并認為即便是提供虛假警報的系統(tǒng),也好過對于一個即將發(fā)生的地震沒有任何預警。
為增進大家對物聯(lián)網(wǎng)的認識,本文將對物聯(lián)網(wǎng)中的幾個重要技術予以介紹。
智芯傳感錨定對標高端進口MEMS壓力傳感器產(chǎn)品,投入大量研發(fā)資金,利用其雄厚的技術科研實力,獲得了多項自主研發(fā)專利,并掌握了包括傳感器產(chǎn)品的設計、生產(chǎn)、封裝、標定及模組的核心流程工藝在內的六大核心技術。
對于MEMS加速度計而言,低功耗的追求尚未達到止境。尤其是在某些對于功耗敏感的應用上,幾十、幾百nW的功耗水平提升,帶來的可能是系統(tǒng)體驗的巨大升級。
全球正經(jīng)歷第三次產(chǎn)業(yè)化浪潮,5G、物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展極大地帶動了MEMS產(chǎn)品的需求,MEMS市場規(guī)模正在實現(xiàn)突破性增長。而MEMS因其器件種類繁多、制造工藝不一等特點,制造一直是主要的行業(yè)痛點。 中國半導體行業(yè)協(xié)會MEMS分會 作為中國唯一的MEMS行業(yè)權威組織,為加速突破我國MEMS制造領域發(fā)展瓶頸,推動我國MEMS產(chǎn)業(yè)人才集聚、技術創(chuàng)新、成果轉化。
為增進大家對MEMS的認識,本文將對MEMS的加工工藝、MEMS的技術優(yōu)勢等內容予以介紹。
為增進大家對MEMS的認識,本文將對MEMS和CMOS的區(qū)別予以介紹。
為增進大家對MEMS的認識,本文將對MEMS芯片級裝配的難點予以介紹。
微機電系統(tǒng) (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS) 是迄今最具潛力的 CMOS 傳感器與驅動器電子器件集成解決方案。通過在 200mm 的單晶頂層硅下提供氧化埋層,SOI 襯底能夠為創(chuàng)新的 MEMS 器件設計提供更多可能。
為繼續(xù)增進大家對MEMS傳感器的認識,本文將對MEMS傳感器的優(yōu)勢以及MEMS未來的技術發(fā)展趨勢予以介紹。